红外探测器用嵌入式键合自对准装置及晶圆键合对准方法

本申请公开了一种红外探测器用嵌入式键合自对准装置及晶圆键合对准方法。红外探测器用嵌入式键合自对准装置包括：介质层以及设置于介质层中的键合对准单元；键合对准单元包括凸台和凹陷结构，用于第一晶圆与第二晶圆之间的电学连接和物理键合；凸台用于设置于第一晶圆键合面上，凹陷结构用于设置于第二晶圆键合面上，凹陷结构与凸台的位置相对应；在施加外部压力的情况下，凸台的至少一部分嵌入凹陷结构，以实现第一晶圆与第二晶圆的预对准，从而在键合压力的作用下，凸台与凹陷结构滑移至二者中心对齐，进而完成自对准，其中键合压力大于外部压力。本申请实施例能够有效提升键合精度，为三维垂直集成红外探测技术的低成本研发提供解决方案。