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用于声学传感器应用的压电材料及相关器件
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
H10N 30/853 (2023.01)H10N 30/30 (2023.01)B81B 7/02 (2006.01)G01H 11/08 (2006.01)
本公开涉及用于声学传感器应用的压电材料及相关器件。本文公开了一种微机电系统(MEMS)器件，其包括第一电极层、氮化铝基压电层、以及第二电极层。氮化铝基压电层包括化学式AlScYbN、AlYYbN、AlScYN或其组合的压电材料，其中x+y+z＝1。还公开了包含该压电材料的声学组件。