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一种基于TOPCon电池制造工艺的清洗方法及系统
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
H10P 70/00 (2026.01)H10F 71/00 (2025.01)H10F 19/90 (2025.01)B08B 3/08 (2006.01)B08B 3/12 (2006.01)B08B 11/00 (2006.01)
本发明涉及一种基于TOPCon电池制造工艺的清洗方法及系统,涉及太阳能电池的技术领域,其包括:采集TOPCon电池的制造工艺规格;依据制造工艺规格对硅片进行制绒、硼扩、氧化以及激光切割以形成检测硅片;对检测硅片执行去硼硅玻璃、碱抛以及隧穿并采集各片检测硅片的检测信息;使用添加剂加入清洗液中,并基于制造工艺规格得到基准信息;对比检测信息与基准信息的一致情况得到异常信息;基于异常信息得到清洁控制信号,并输出清洁控制信号将检测硅片放置在含有添加剂的清洗液中进行清洗;完成清洗后,将各个检测硅片继续执行原子层沉积、正膜、背膜、丝网以及测试分选的制造工艺规格得到电池。本申请具有提高TOPCon电池的生产效率的效果。
§ Ⅵ
专利附图
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