晶圆盒内晶圆状态的检测方法和设备前端模块

本发明公开晶圆盒内晶圆状态的检测方法和设备前端模块，所述方法包括获取待测晶圆盒内的图像数据；利用轻量化卷积神经网络提取图像数据的局部特征，局部特征包括低反差特征和弱纹理特征中的至少之一。对局部特征进行全局空间依赖建模，提取不同区域间的长程空间关联信息，并进行维度统一，得到第一输出结果。对局部特征进行维度统一，得到第二输出结果。对第二输出结果和第一输出结果进行拼接，获得拼接特征，拼接特征包括晶圆盒内局部缺陷信息和全局姿态关联信息。使用检测网络对拼接特征进行检测，输出晶圆盒内的检测结果。所述晶圆盒内晶圆状态的检测方法和设备前端模块能检测盒内的晶圆状态异常，而且检测的可靠性高。