复合传感器及其制备方法

一种复合传感器，包括层叠设置的压力传感器（10）、加速度计结构层（20）和封装层（30）；加速度计结构层（20）包括衬底（21）以及设置于衬底（21）的第一空腔（22），第一空腔（22）沿垂直于复合传感器所在平面的方向贯穿衬底（21）；加速度计结构层（20）还包括悬空结构（23）、多个连接梁（24）以及多个电桥（25），多个电桥（25）构成第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥和第三惠斯通电桥中的至少一个；悬空结构（23）位于第一空腔（22）内，多个连接梁（24）环绕悬空结构（23）设置，且悬空结构（23）经由多个连接梁（24）与衬底（21）连接；压力传感器（10）包括载板（11）和多个压阻件（12），压阻件（12）靠近加速度计结构层（20）一侧的表面被载板（11）暴露出来。及一种复合传感器的制备方法。