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传感器元件及传感器元件的制造方法
发明专利未知
14权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G01N 27/04 (2006.01)G01N 27/12 (2006.01)
提供一种能够减少气味物质受体层从基板剥落而实现高成品率的传感器元件。传感器元件(1)包括:在俯视下呈矩形的基板(11),具有基板表面(11A)被绝缘膜覆盖了的覆盖部(12)、以及被覆盖部包围且基板表面未被绝缘膜覆盖的非覆盖部(13);第1电极(15)和第2电极(16),配置于非覆盖部中的基板表面;以及气味物质受体层(19),包含导电性碳材料和树脂组合物并与非覆盖部中的基板表面、第1电极及第2电极接触,第1电极及第2电极配置在设于非覆盖部中的凹部(13A)内,非覆盖部中的基板表面、第1电极的用以与气味物质受体层接触的第1面、以及第2电极的用以与气味物质受体层接触的第2面以彼此齐平的方式配置。
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