静电夹具

一种用于夹持衬底（例如，硅晶片）的静电夹具包括：本体；至少一个中央电极；以及至少一个周边电极。所述本体限定一表面和从该表面延伸的多个突起部（也被称为突节）。多个突起部包括第一组中央突起部和第二组周边突起部。所述至少一个中央电极邻近第一组中央突起部，并且所述至少一个周边电极邻近第二组周边突起部。第二组周边突起部比第一组中央突起部延伸得更远离所述表面。也就是说，最外侧突节具有比中央突节更大的高度。在与突起部大致平行的方向上，第二组周边突起部可以具有比第一组中央突起部更小的刚度。