一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法

本发明提供一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法，弹性膜包括：底板部，用于向下接触晶圆；周壁，沿底板部的边缘向上延伸；分隔筋，位于周壁的内侧，包括水平筋和竖直筋，竖直筋沿底板部向上延伸，竖直筋的末端水平延伸形成水平筋，竖直筋具有负泊松比结构；分隔筋和周壁将弹性膜分隔成多个腔室。本发明的弹性膜能够在抛光晶圆的过程中减少甚至消除三区耦合，并改善分隔筋处的压力波动，从而提高抛光精度，并最终提高先进制程中的晶圆良率。