一种固体靶件传输用装置、设备及方法

本发明公开了一种固体靶件传输用装置、设备及方法，解决了现有技术中固体靶件与传输容器在远距离操作时无法有效分离与安装的问题，具有无需人工近距离操作的有益效果，方案如下：一种固体靶件传输用装置，包括传输容器，传输容器的侧壁设置阻挡销，阻挡销能够被压缩和伸出，克服阻挡销的阻力能够将固体靶件置于靶件存放槽，阻挡销伸出后对固体靶件进行阻挡固定；安装分离机构包括底部支撑件，底部支撑件中心设置放靶平台以支撑固体靶件，底部支撑件的边侧设置有定位柱，定位柱能够插入传输容器中并避开固体靶件，放靶平台的两侧分别设置有连接板，放靶平台与连接板的一端铰接连接以使得连接板相对于放靶平台可摆动，连接板的另一端设置压紧件。