一种花瓣状辐射排布的悬臂梁微电极阵列的制备方法

本发明公开了一种花瓣状辐射排布的悬臂梁微电极阵列的制备方法。该方法全程使用三块金属掩模板替代光刻工艺进行图形化：第一金属掩模板限定牺牲层图案，第二金属掩模板限定花瓣形辐射状排布的电极图案，第三金属掩模板限定悬臂梁主体刻蚀图案。通过在牺牲层上下分别沉积具有压应力和拉应力的功能层，在牺牲层去除后，悬臂梁在应力差驱动下自动卷曲，形成N根花瓣状辐射排布的立体结构。电极层兼具信号传输与电热驱动双重功能，通过施加偏置电流产生焦耳热，利用功能层间的热膨胀系数差异精细调节悬臂梁的翘曲程度和刺入深度。本发明彻底消除了光刻工艺带来的复杂步骤和有机试剂残留问题，在微流控芯片集成和类器官长期在线监测领域具有广泛应用前景。