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一种半导体超纯水用净化精处理设备
发明专利未知
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
C02F 9/00 (2023.01)C02F 1/44 (2023.01)B01D 63/16 (2006.01)C02F 103/04 (2006.01)C02F 1/00 (2023.01)C02F 5/00 (2023.01)C02F 1/28 (2023.01)C02F 1/42 (2023.01)
本发明涉及半导体超纯水处理相关技术领域,公开了一种半导体超纯水用净化精处理设备,包括净化罐和固定安装于净化罐内的箱体,箱体内可滑动地设置有活动框,活动框将箱体内部分隔为进液腔和出液腔;活动框内相对滑动设置有一对活动件,一对活动件之间形成多级净化腔,一对活动件相背一侧分别形成腔体;每个活动件与箱体侧壁之间铰接有连接件,使活动件随活动框移动时相互靠近或远离;多级净化腔内设置有反渗透膜,反渗透膜连接于同一框体内的两个摆件之间并呈折流状,摆件与腔体侧壁之间连接有V型件;液压伸缩缸驱动活动框往复移动,使一对活动件相互靠近或远离,进而带动摆件摆动以压缩或展开反渗透膜。
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