一种基于机器视觉闭环控制的毛细管气泡微腔阵列制备装置及方法

本发明公开了一种基于机器视觉闭环控制的毛细管气泡微腔阵列制备装置及方法，包括：高压放电模块，包含可编程交流电源和高压变压器，所述可编程交流电源的输入端接入交流市电；气压控制模块，视觉采集模块，自动定位与微调模块和主控计算机，用于实时分析并输出控制指令。本发明通过空间对称性闭环修正回路实现微米级位置补偿、通过能量自适应调控回路随壁厚减薄动态降低放电强度，有效解决了传统手动操作主观性强、一致性差、良率低的难题，确保了气泡微腔的高品质与极高一致性；同时，为超低浓度化学气体/生物分子高灵敏度检测、窄线宽激光器、光学传感及量子光学等领域提供了可靠的器件制备解决方案。