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掩膜版及蒸镀用掩膜版、蒸镀设备
发明专利未知
10权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
C23C 14/04 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)
本申请提供一种掩膜版及蒸镀用掩膜版、蒸镀设备,本申请提供的掩膜版,其掩膜本体包括多个非图形区域和多个图形区域,非图形区域和图形区域沿第一方向延伸且沿第二方向交替排布,图形区域包括沿第一方向排布的多个蒸镀区域,每个蒸镀区域对应一个显示面板的显示区域,每个蒸镀区域设置有多个第一掩膜开口,每个非图形区域设置有多个第二掩膜开口;其中,在非图形区域设置第二掩膜开口,有利于减少掩膜版褶皱,提升掩膜版的平整度。同时,第二掩膜开口的尺寸小于第一掩膜开口的尺寸,有利于提升掩膜版的强度,降低掩膜版受损风险。