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一种硅片花篮的横杆长度测量设备
发明专利未知
8权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G01B 11/02 (2006.01)
本发明属于测量技术领域,具体的说是一种硅片花篮的横杆长度测量设备,包括集装部件、花篮横杆和扣置部件,花篮横杆均匀设置在集装部件的内部,扣置部件套接在集装部件外表面的中部;集装部件包括引导底座、横杆枕板、推进部件、联装推板和适配底脚,横杆枕板均匀设置在引导底座的中部。该装置每次可以对复数根花篮横杆进行统一的长度测量工作,大幅提高检测效率,在测量过程中不需要操作人员手持测量仪器进行目测工作,自动化程度较高,且通过感应光板对光敏的浮游定位光标进行偏移测量工作,计算得到的花篮横杆实际长度更加精准,避免出现传统测量工作带来的误差从而导致不良品的概率提高的问题。
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