测量方法、测量设备和计算机可读存储介质

一种测量方法、测量设备以及计算机可读存储介质，测量方法包括：确定第一干涉仪所成的图像与第二干涉仪所成的图像之间的空间映射关系；分别通过第一干涉仪和第二干涉仪获取测量腔中固定有待测晶圆状态下第一面的第一干涉图像和第二面的第二干涉图像；提取第一干涉图像中对应于待测晶圆上的晶粒的第一晶粒区域，根据第一晶粒区域和空间映射关系，提取第二干涉图像中与第一晶粒区域对应的第二晶粒区域；根据第一晶粒区域和第二晶粒区域计算对应的晶粒的形貌特征。由于根据上述空间映射关系由第一干涉图像上的第一晶粒区域提取第二干涉图像上位置对应的第二晶粒区域，可校正两侧干涉仪之间视场的一致性，有效提高了测量晶粒形貌特征的精度。