返回搜索
档案
光学元件的外形轮廓检测方法、系统、设备及存储介质
发明专利未知
10权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G01B 11/24 (2006.01)G01B 11/00 (2006.01)G01B 11/06 (2006.01)G01B 11/08 (2006.01)G01B 9/02 (2022.01)G02B 26/10 (2006.01)
本申请提供光学元件的外形轮廓检测方法、系统、设备及存储介质,涉及光学设备检测技术领域。该方法包括:在待测光学元件放置于外形轮廓检测系统的测试位后,控制外形轮廓检测系统中的各振镜单元同步扫描对应侧表面;获取各侧表面上每个扫描点的光强度信号,对各侧表面上每个扫描点对应的光强度信号进行处理,得到各侧表面上每个扫描点对应的峰值波长;基于各侧表面上每个扫描点对应的峰值波长,得到各侧表面对应的三维点云;根据各侧表面对应的三维点云,得到待测光学元件的外形轮廓三维点云;对外形轮廓三维点云进行处理,得到待测光学元件的轮廓参数,实现了对待测光学元件的非接触式测量,避免了对光学元件表面造成二次伤害,提高了测量精度。
登录后阅读全文
已显示权利要求 1。免费注册即可阅读全部 10 项权利要求、说明书全文、全部附图、翻译和法律状态。
- 全部权利要求
- 技术领域
- 背景技术
- 发明内容
- 附图说明
- 具体实施方式