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测量型腔间距的组件及型腔间距的测量方法
发明专利未知
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G01B 21/16 (2006.01)
本发明提供了一种测量型腔间距的组件及型腔间距的测量方法,测量型腔间距的组件包括:两个带电薄膜,两个带电薄膜具有相同性质的电荷,两个带电薄膜相对设置,其中一个带电薄膜设置于上托盘并位于型腔的上腔壁处,另一个带电薄膜设置于下托盘并位于型腔的下腔壁处;压力检测件,压力检测件设置于上托盘和下托盘的至少一个上,压力检测件位于其中一个带电薄膜和下托盘之间,和/或,压力检测件位于另一个带电薄膜和上托盘之间,压力检测件能够检测两个带电薄膜之间的库仑力。解决了相关技术中的测量方式造成托盘浪费的问题。
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