一种基于PZT压电薄膜直接驱动的低电压本安型半球谐振陀螺测量装置

本发明公开了一种基于PZT压电薄膜直接驱动的低电压本安型半球谐振陀螺测装置，涉及惯性导航领域。所述测量装置包括本安传感单元和信号处理单元，其中本安传感单元设置于真空屏蔽罩内，包括：熔融石英半球谐振子、激励电极和检测电极、检测基座、低压驱动电路，所述激励电极采用PZT压电薄膜材料制备而成，直接沉积于熔融石英半球谐振子表面。本发明解决了传统静电激励方案高压与本安认证的根本冲突，打破了低电压无法驱动高Q值谐振子的技术偏见，具有电路极简、可靠性高、体积小、精度高等优势，可广泛应用于矿山井下等爆炸性环境的高精度惯性导航。