一种抑制氟化钙晶体表面损伤增长速度的调控方法

本发明涉及一种抑制氟化钙晶体表面损伤增长速度的调控方法，包括对氟化钙晶体的入射面进行光热弱吸收测试，记录各测试位置的光热弱吸收调制因子及其空间分布；对光热弱吸收测试位置进行激光损伤测试，获取各测试位置的初始损伤形貌及损伤增长速度；根据损伤增长速度将初始损伤分为良性初始损伤和非良性初始损伤，计算得到区分良性初始损伤与非良性初始损伤的光热弱吸收调制因子临界阈值；对光热弱吸收调制因子超过临界阈值的位置进行刻蚀去除；重复进行光热弱吸收测试和离子束刻蚀加工，直至各位置的光热弱吸收调制因子均低于临界阈值。本发明可延长氟化钙晶体的服役寿命，并有助于扩展其在深紫外光刻及高功率激光系统中的应用范围。