一种柔性隔膜离线检测装置及其检测方法

本发明公开一种柔性隔膜离线检测装置及其检测方法，该装置检测单元中的静电吸附平台安装于机架上，静电吸附平台内嵌有多个相互绝缘的导电电极，集成式处理组件水平滑动连接在机架上，集成式处理组件沿其移动方向集成有柔性刮平件和视觉检测组件，控制模块分别与分区静电发生器、集成式处理组件及视觉检测组件电性连接，本申请采用分区动态静电吸附与自适应柔性刮平相结合的方案，通过根据刮平压力的实时反馈微调弹性刮刀，并针对性调节区域静电吸附力，实现了超薄隔膜的无损伤平整，解决了因基材翘曲、吸附不稳导致的成像平面度差及微缺陷漏检问题，提升了检测精度。