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一种静电测试设备及静电测试方法
发明专利未知
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G01R 31/00 (2006.01)G01R 1/04 (2006.01)G01R 1/02 (2006.01)
本申请提供一种静电测试设备及静电测试方法,静电测试设备包括载台、驱动结构、静电发生组件、采集组件以及控制单元,其中,控制单元电连接驱动结构以及采集组件,驱动结构用于在控制单元的控制下驱动载台在预设条件下沿预设轨迹移动,且在驱动结构控制载台承载待测试对象移动至静电发生组件的工作区域的状态下,静电发生组件对待测试对象进行静电处理;采集组件用于采集待测试对象的画面参数,并反馈给控制单元进行数据处理。本申请提供的静电测试设备,将驱动结构、静电发生组件以及采集组件集成在一套设备中,提高了静电测试的效率,且将驱动结构与采集组件分别设置于载台的两侧,能够避免驱动结构动作时影响采集组件对待测试对象的图像采集。
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