光学邻近效应校正方法、装置、存储介质及电子设备

本申请公开了一种光学邻近效应校正方法、装置、存储介质及电子设备，其中，该光学邻近效应校正方法包括获取目标版图轮廓，在目标版图轮廓上以第一预设间距均匀放置初始控制点，形成当前控制点集合；基于当前控制点集合执行OPC迭代，并在每轮迭代完成时，监测当前迭代状态是否满足预设的触发条件；当监测到当前迭代状态满足预设的触发条件时，获取当前控制点集合中各控制点处的局部曲率；将局部曲率与动态阈值进行比较，并根据比较结果确定目标区域；在目标区域中插入新控制点，以对当前控制点集合进行更新；基于更新后的当前控制点集合执行OPC迭代，并基于本轮迭代结果判断是否满足预设的收敛条件；若满足收敛条件，则输出最终的曲线OPC版图。