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一种晶圆分选设备的控制方法、装置、设备及介质
发明专利未知
14权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
张皓然; 王贺; 同嘉锡; 林山峰
申请日
Jul 17, 2026
公开日
Oct 27, 2026
IPC 分类
G05B 19/418 (2006.01)B07C 5/36 (2006.01)B07C 5/34 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)
本公开提供了一种晶圆分选设备的控制方法、装置、设备及介质。该控制方法包括:将晶圆分选设备的多个卸载端口配置为至少一个固定类型端口和至少一个动态类型端口;获取待分选晶圆的类别属性信息;当待分选晶圆属于预设类别时,控制待分选晶圆传输至固定类型端口;当待分选晶圆属于除预设类别之外的其他类别时,基于预设的分选条件,将动态类型端口的目标类别变更为待分选晶圆所属的类别,并控制待分选晶圆传输至动态类型端口。
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