一种基于机器视觉的清洗质控方法及系统

说明书摘要本发明公开了一种基于机器视觉的清洗质控方法及系统，方法包括：同步采集清洗后工件表面的可见光波段图像和紫外波段图像；利用紫外荧光先验引导可见光图像局部增强后生成双通道图像；将双通道图像输入语义分割网络，直接输出区分基底区域、颗粒状残留区域和膜状残留区域的分割掩膜；基于掩膜提取面积占比，利用预先标定的荧光灰度‑膜厚映射关系将紫外灰度值转换为膜厚估计值并归一化得到残留物浓度指数；根据两类残留面积占比之比动态调整加权权重，计算洁净度综合评分；当评分低于合格阈值时，基于面积比值判定残留物主导类型，从预设策略库中选取差异化调节策略实现闭环调控。本发明实现了透明残留物的高灵敏识别、残留类型的精细化区分及清洗工艺的自适应优化。