定位标识的识别方法、半导体检测系统和存储介质

本申请提供一种定位标识的识别方法、半导体检测系统和存储介质，该方法包括获取表征被测物体表面的多帧移相干涉图像；基于多帧移相干涉图像中各对应像素的光强变化信息，生成被测物体的边缘轮廓增强图像并提取基准圆形轮廓作为空间参考系；结合动态阈值分割与几何拟合算法，确定位于被测物体边缘的定位标识的精确中心坐标，并根据其与基准圆形轮廓的几何关系，最终解算出定位标识的方位角，实现了定位标识中心坐标亚像素级精度的识别。