芯片检测设备

本发明公开了一种芯片检测设备，包括支架、2D相机、多个3D相机和光源，所述支架包括顶部的支撑板，所述支撑板用于放置待测芯片，所述2D相机固定于所述支架底部，其镜头朝向所述待测芯片，所述3D相机支撑于所述支架，并设置于所述2D相机和支撑板之间，该多个3D相机的镜头朝向所述待测芯片，所述光源固定于所述支架上并设置于所述支撑板和3D相机之间，并朝向所述支撑板。本发明的芯片检测设备采用了上下多层设计，2D相机和3D相机均固定在支架上，可同时或分时进行拍照检测，2D相机和3D相机无位移机构驱动移动，在检测时处于静止状态，不会因为移动造成定位误差，在保证检测精度的同时减少了检测时间，提高了检测效率，以满足高速检测需求。