带电粒子光学模块

一种用于带电粒子光学设备的带电粒子光学模块（200），带电粒子光学设备被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，带电粒子光学模块包括：发射器（21），被配置为发射带电粒子的源束；多个带电粒子光学板元件（24‑26），被配置为对源束进行操作并且限定用于源束通过的多个束孔径（266）；以及间隔件（33），被配置为将带电粒子光学板元件中的两者彼此间隔开，其中间隔件包括与带电粒子光学板元件中的一者接合的至少一个接合表面，接合表面是平面的。