估计腔室内部状态的方法及用于其之装置

本公开内容公开了一种通过腔室监测元件来估计腔室状态的方法。特别地，方法包括：获得与以N个元素中的每一者作为轴的N维坐标系中的Y个坐标对应的Y个参考状态数据；通过计算当前状态数据与Y个参考数据中的每一者之间的相似性来产生Y个第一状态相似性数据；通过基于所述Y个第一状态相似性数据在N维坐标系中实行内插或外插中的至少一者来确定整个坐标的多个第二状态相似性数据；以及根据以下坐标来估计所述N个元素中的每一者的当前状态，坐标包括于与多个第二状态相似性数据中所包括的多个第二状态相似性之中具有最大值的第二状态相似性对应的作为估计状态相似性数据的第二状态相似性数据中。