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IMPEDANCE MATCHING MODULE, IMPEDANCE MATCHING CIRCUIT, PLASMA PROCESS SUPPLY SYSTEM AND PLASMA PROCESS SYSTEM
发明专利审中
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
NORDMANN, Birger
申请日
Feb 26, 2024
公开日
Jan 6, 2026
IPC 分类
H01JH03HH03HH05KH05K
CPC 分类
H01JH05KH05KH05KH01FH01F
发明人
NORDMANN, Birger
申请日
Feb 26, 2024
公开日
Jan 6, 2026
IPC 分类
CPC 分类