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WAFER CARRIER WITH SCAVENGING DEVICE
发明专利审中
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
HUANG, Shih-Hsuan; LEEDLE, Melvin Joshua; SUTER, John D. II; ANGEL, Juan; PURAYATH, Vinod; MESSMORE, Benjamin; SCAGLIONE, Heather; OHAMA, Kenta
申请日
Feb 26, 2024
公开日
Jan 6, 2026
IPC 分类
H01L
CPC 分类
H01L