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DESIGNS OF NANO-PRECISE SHORT STROKE STAGES FOR ACTUATION

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

SREENIVASAN, Sidlgata, V.; SHAH, Jay; AJAY, Paras

申请日

Feb 29, 2024

公开日

Jan 6, 2026

IPC 分类

H01LH01LH01LH02NH01L

CPC 分类

H01LH02NH02NH01L2924/00014H01L2224/75901H01L2224/75753H01L2224/75745H01L2224/75702