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MEMS DEVICE WITH RESONATING STRUCTURE

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

KAAJAKARI, Ville

申请日

Jun 30, 2024

公开日

Jan 6, 2026

IPC 分类

B81B

CPC 分类

B81BB81B2203/0118B81B2201/0271