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DEPOSITION APPARATUS AND DEPOSITION METHOD USING THE SAME

发明专利审中

§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

Samsung Display Co., Ltd.

发明人

LEE, Sungyong; KANG, Eugene; SEO, Changwook; SUNG, Byunghun; OH, Daeyoung; YUN, Seung Geun; LEE, Sangkeun; JEONG, Yongwoo

申请日

Jun 25, 2025

公开日

Jan 6, 2026

IPC 分类

C23CC23CH01KH01LH10K

CPC 分类

H01KC23CC23CH01LH10K

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