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№ EP4675005A1
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REACTION CHAMBER ASSEMBLY
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发明专利
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
LPE S.p.A.
原始名称记载: LPE S.p.A. · 查看全部专利
专利申请人记载
发明人
MESCHIA, Maurilio
申请日
Jul 2, 2025
公开日
Jan 6, 2026
IPC 分类
C23C
C23C
C23C
C23C
C23C
C23C
C30B
C30B
C30B
C30B
F27B
F27D
F27D
H01L
H01L
H01L
CPC 分类
C23C
C23C
C23C
H01L
C30B
C30B
C30B
C30B
C23C
C23C
C23C
C23C
F27B
F27D
F27D
C30B
外部资源
Google Patents
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