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COATING AGENT FOR FORMING ETCHING RESIST COATING FILM

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

NAKAGAWA, Nobuko; MURAMATSU, Naoki; TADA, Chiyoko; NAKAMURA, Kengo; SUGISHITA, Tomonori

申请日

May 15, 2024

公开日

Jan 6, 2026

IPC 分类

C23C