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ADAPTER APPARATUS AND SEMICONDUCTOR PROCESS DEVICE
发明专利审中
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
发明人
LIU, Dongxu; MA, Hongshuai; NAN, Jianhui; ZHAO, Hongyu
申请日
Feb 27, 2024
公开日
Jan 6, 2026
IPC 分类
F16LH01L
CPC 分类
Y02A