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SUBSTRATE TREATMENT METHOD

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

SCREEN Holdings Co., Ltd.

原始名称记载: SCREEN Holdings Co., Ltd. · 查看全部专利专利申请人记载

发明人

NISHIMURA, Yuta

申请日

Feb 5, 2024

公开日

Jan 6, 2026

IPC 分类

G03FH01LH01L

CPC 分类

H01LH01LG03F

外部资源

Google PatentsEspacenet