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그리드 펄싱 기술을 이용한 EUV PR/SiON 패턴에서의 식각 선택비 및 손상 제어 장치 및 방법
发明专利审中
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
염근영; 장윤종; 권해인; 길홍성; 김경찬; 김주영; 박우창
申请日
Jun 24, 2024
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1J 37/4H1J 37/8H1J 37/24H1J 37/305H1L 21/311H1L 21/67
CPC 分类
H1J37/45H1J37/8H1J37/241H1J37/3056H1L21/31116H1L21/31144H1L21/67069