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发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

한화세미텍 주식회사

原始名称记载: 한화세미텍 주식회사 · 查看全部专利专利申请人记载

发明人

류희성; 신유리

申请日

Jun 24, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1J 37/32H1L 21/687H1L 21/768

CPC 分类

H1J37/3244H1J37/32174H1J37/32715H1L21/68742H1L21/76837

外部资源

Google PatentsEspacenet