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연마 패드를 컨디셔닝 하기 위한 컨디셔닝 장치

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

홍성기; 윤근식

申请日

Jun 24, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

B24B 53/17B24B 37/5B24B 49/10B24B 49/12B24B 53/7

CPC 分类

B24B53/17B24B37/5B24B49/10B24B49/12B24B53/7