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№ KR1020250179929A
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发明专利
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9
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
(주)아이작리서치
原始名称记载: (주)아이작리서치 · 查看全部专利
专利申请人记载
发明人
박형상; 정성준; 김지혜; 최민호
申请日
Jun 24, 2024
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1J 37/32
C23C 16/505
H1L 21/67
CPC 分类
H1J37/32174
C23C16/505
H1J37/32357
H1J37/3244
H1L21/67069
H1J2237/3321
外部资源
Google Patents
Espacenet