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发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

주식회사 테스

原始名称记载: 주식회사 테스 · 查看全部专利专利申请人记载

发明人

정우영; 이환희; 윤영일; 김종욱

申请日

Jun 24, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/2C23C 16/26C23C 16/507H1J 37/32H1L 21/33

CPC 分类

H1L21/2274C23C16/26C23C16/507H1J37/321H1J37/32128H1L21/2115H1L21/332

外部资源

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