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회전을 이용한 반도체 제품 이물 제거 장치
发明专利审中
§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
람다마이크로 주식회사; 김동율
发明人
김동율; 권두원
申请日
Jun 24, 2024
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/67H1L 21/687
CPC 分类
H1L21/6704H1L21/67034H1L21/68764
申请人
람다마이크로 주식회사; 김동율
发明人
김동율; 권두원
申请日
Jun 24, 2024
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
CPC 分类