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반도체 생산설비의 취출부 전체를 상승 및 하강시키는 장치

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

김동율; 권두원

申请日

Jun 24, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/67H1L 21/677H1L 21/687

CPC 分类

H1L21/67265H1L21/6773H1L21/68742