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박막 두께 측정 장치 및 방법

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

황덕현; 김기현; 경재선; 박영길

申请日

Jul 9, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

G1B 11/6H1L 21/66

CPC 分类

G1B11/625G1B11/641H1L22/12G1B2210/56