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기판 맵핑 센서

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

정민철; 박종진; 서현후; 조지환

申请日

Nov 6, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

G1N 21/88G1N 21/3563G1N 21/95H1L 21/67

CPC 分类

G1N21/8806G1N21/3563G1N21/95H1L21/67265H1L21/67288H1L21/67303