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기판 핸들링 장치 및 엔드 이펙터

发明专利审中
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

탄티웡 카일; 반나 사메르; 첸 동양; 곤잘레스 마리오

申请日

Jun 20, 2025

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/687B25J 11/B25J 15/H1L 21/67H1L 21/677

CPC 分类

H1L21/68707B25J11/95B25J15/14H1L21/67167H1L21/67196H1L21/67742H1L21/67766