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기판 핸들링 장치 및 엔드 이펙터
发明专利审中
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
탄티웡 카일; 반나 사메르; 첸 동양; 곤잘레스 마리오
申请日
Jun 20, 2025
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/687B25J 11/B25J 15/H1L 21/67H1L 21/677
CPC 分类
H1L21/68707B25J11/95B25J15/14H1L21/67167H1L21/67196H1L21/67742H1L21/67766