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가스 분배용 방법 및 장치
发明专利审中
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
폰두룰리아 카일; 킴티 안키트
申请日
Jun 20, 2025
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
C23C 16/455C23C 16/44H1L 21/67
CPC 分类
C23C16/45565C23C16/4412C23C16/45544H1L21/67017H1L21/67069
发明人
폰두룰리아 카일; 킴티 안키트
申请日
Jun 20, 2025
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
CPC 分类