이중 다마신 구조들을 위한 리소그래피 프로세스들

申请人

어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人

창, 춘-지; 왕, 잉차오; 라이딕, 토마스 엘.; 강, 충-신; 첸, 장 풍; 차이, 치-밍; 셰, 천-위안

申请日

Jun 23, 2025

公开日

Dec 31, 2025