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레이저 스페클 이미지를 이용한 검사 방법, 검사 장치, 및 이를 포함하는 검사 시스템

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

윤종희; 김정교; 김동혁

申请日

Mar 20, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

G1N 21/47G1N 33/569G6T 7/G6T 7/10G6V 10/77

CPC 分类

G1N21/47G1N33/569G6T7/2G6T7/10G6V10/77G1N2021/479G1N2201/6113G1N2201/636G1N2201/8